예스티, HPSP 상대 HPA 장비 특허 소송 2심 승소… 도어 구조 차이로 비침해 인정
예스티가 HPSP의 고압수소어닐링(HPA) 장비 특허 소송 2심에서 승소했다. 특허법원은 HPSP 특허의 핵심인 '회전 체결 링'이 예스티 장비에 없다며 비침해를 인정했다. 3월 글로벌 반도체기업 75매 납품에 이어 8월 125매 추가 예정으로, 법적 불확실성 해소로 시장 확대에 탄력이 붙을 전망이다. ── 출처 편집본 — 특허·소송
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예스티가 HPSP와의 고압수소어닐링(HPA) 장비 특허 소송 2심에서 승소했다. 특허법원은 '예스티의 잠금장치 구조가 HPSP의 027 특허 권리범위에 속하지 않는다'고 판단, 특허심판원 1심 결정을 유지했다.
핵심 쟁점은 도어 구조 방식의 차이다. HPSP 특허는 '회전 체결 링'을 필수 구성 요소로 요구하지만, 예스티는 외부 도어 자체가 회전하는 방식을 채택해 해당 부품이 필요 없다. 법원은 이 구조적 차이를 명확히 인정했다.
법적 불확실성이 해소된 예스티는 시장 확대에 속도를 낼 전망이다. 올해 3월 글로벌 반도체 기업에 75매 장비를 공급했고, 8월 125매 HPA 장비 추가 납품이 예정돼 있다. 차세대 고압산화공정(HPO) 장비 상용화도 앞두고 있어, HPA 시장 독점 구조 완화와 예스티의 수주 확대가 기대된다. ── 출처 편집본